logo

MARGANES IONLAR IMPLANTATSIYA QILINGAN KREMNIY MONOKRISTALLARI SIRT MORFOLOGIYASINI ATOM KUCH MIKROSKOPI YORDAMIDA TADQIQ QILISH

Загружено в:

20.11.2024

Скачано:

0

Размер:

4599.3017578125 KB
MARGANES IONLAR IMPLANTATSIYA QILINGAN KREMNIY MONOKRISTALLARI 
SIRT MORFOLOGIYASINI ATOM KUCH MIKROSKOPI YORDAMIDA TADQIQ QILISH              Atom kuchi mikroskopi

Atom-kuch mikroskopi ( AKM – atom kuch mikroskopi) - nanometr va undan yuqori 
o'lchamdagi sirt relyefini aniqlashga qodir yuqori aniqlikdagi skanerlash zondli mikroskopdir.  
Skanerli tunnel mikroskopidan farqli o'laroq  atom kuch mikroskopi o'tkazuvchan va 
o'tkazmaydigan sirtlarni tekshirishi mumkin.
1 -  lazer
2 – kantilever  
( mikrozond )
3 -  namuna
4 –  to’rt bo’limli 
fotodiod
5 –  quvursimon 
piezodvigatel
6 –  teskari aloqa bloki
7 -  piezomodultator              Hozirgi kunda SamDU Muhandislik fizikasi institute  laboratoriyasida foydalanilayotgan
 AKM ning tashqi ko’rinishi              Tajriba natijalari va ularning tahlili

  Ion implantatsiya qilinmagan Si sirtining   holati tasvirlari
3D tasvir                                                        2D tasvir              3D tasvir                                                                2D tasvir              40 keV energiyali Mn ionlari bilan implantatsiya qilingan Si monokristall sirtining AKM 
yordamida olingan tasvirlari. Tok zichligi 8μA/sm 2 
, doza 800μC/sm 2
.
3D tasvir                                                                2D tasvir              3D tasvir                                                                2D tasvir              Xulosa

Shunday  qilib  ion  implantatsiya    usulining  boshqa  usullarga  nisbatan  afzalligi  biror  namunaga  boshqa  bir 
begona  modda  ionlarini  istalgan  miqdorda  kirgazish  mumkin  ekan.  Mn  ion  implantatsiyasidan  keyin  Si 
monokristalning sirt tuzilishlari va elektr o’tkazuvchanlik xossalari o’zgarar ekan. Implantatsiya jarayonida Si 
monokrastallining  sirt xossalari ko’p jihatdan ionlar energiyasiga bog’liq ekan. 

Tasvirlarni  solishtiradigan  bo‘lsak,  implantatsiya  qilingan  kremniy  plastinkasida  donadorlik  oshgan,  buni  Mn 
ioni  bilan  implantatsiya  qilish  jarayonida  Mn  ionlarining  bir  jinsli  joylashmagani  bilan  izohlash  mumkin. 
Ammo sirt g‘adur-budurligini AKM yordamida olingan ma’lumotlarga tayanib tahlil qilish mumkin. Kremniy 
taglikda  dastlab  o‘rtacha  g’adur  budurlik  1.5  nm  atrofida  bo‘lgan  ammo  Mn  ioni  implantatsiya  qilingandan 
so‘ng  bu  qiymat  26.4  nm  ga  teng  bo‘lmoqda,  bu  bilan  Mn  ioni  oqimi  bilan  implantatsiya  qilingan  sirtning 
g‘adur-budurligi  taglikka  nisbatan  ancha  yuqori  bo‘lganini  aytish  mumkin.  O‘rtacha  kvadratik  g‘adur-
budurlikning  qiymatlarini  solishtirib  aytish  mumkinki  kremniy  taglik  sirtida  g‘adur-budurlik  Mn  ionlarining 
kremniy taglikka bir jinsli bo‘lmaganidan hosil bo‘lgan ya’ni sirt donador teksturaga ega bo‘lgan.               FOYDALANILGAN ADABIYOTLAR RO’YXATI

1.  Baxadirxanov  M.K.,  Isamov  S.B.,  Zikrillaev  N.F.,  Arziqulov  E.U.  Ko'p  zaryadli  marganets  klasterlari  bilan  kremniydagi  foto 
o'tkazuvchanlikni  infraqizil  o'chirish  //  Yuzaki  muhandislik  va  amaliy  elektrokimyo,  2013  yil,  jild.  49,  №.  4,  B.  308–311.  [№11, 
Springer, IF=0,289]

2.Arziqulov  E.U,  Ro’zimurodovJ.T.  Kvant  nuqtali  kuchli  kompensirlangan  kremniy  na’munalari  Volt-amper  va  lyuks-amper 
tavsifnomalari// SamDU axborotnomasi. 2017. №5,  С . 87–92. [01.00.00 №2] 

3.Quvandikov  O.K., Arziqulov  E.U.,  Ro zimurodov  J.T.  Marganets  bilan  implantatsiya  qilingan  kremniy  ionining  ferromagnitligi// ʻ
DAN AN O zbekiston. № 5, 2012 yil, 28–31-betlar. [01.00.00 №7]	
ʻ

4.Quvandikov O. K., Arzikulov E. U., Kovalyov A. I., Tetelbaum D. I. Yuqori aniqlikdagi rentgen-fotoelektron spektroskopiyasi va 
fosfor-implantatsiya qilingan kremniy va  silikon  dikosidli dioksid va  dikonik  dioksid kvantlarining elektron tuzilishining xarakterli 
elektron-energiya  yo'qotish  spektroskopiyasi.    Texnologiya  va  elektronika.  2007,  jild.  52.  №.  9.  B.  1054–1057.  [№11,  Springer, 
IF=0,446]

5.Quvandikov O.K., Arziqulov E.U., Ro zimurodov J.T. Marganets bilan implantatsiya  qilingan  kremniy ionining ferromagnitligi.// 	
ʻ
Konferensiya  materiallari  V  Baykal  xalqaro  konferensiyasi  “Magnit  materiallari.  Yangi  texnologiyalar”  2012  yil  21–25  sentyabr, 
345-346-betlar.

6.Chu W.H., Liu C.P. FIB bilan Ga implantatsiyasi orqali bitta p-tipli ZnO nanosimlarining elektr xususiyatlari // Proceedings IEEE 
4th International Nanoelektronika Konferentsiyasi (INEC). 2011. 21–24 iyun. B. 1–2.

7.  Cheng  Y.,  Liang  Y.,  Lei  M.,  Hark  S.K.,  Vang  N.  ZnO  nanosimlarining  tuzilishi  va  optik  xususiyatlarini  Ga  ion  nurlari  bilan 
o'zgartirish.// MRS Proceedings, 2009. Jilm 1201. P. 235-237 .              Mavzuga doir ilmiy maqolalar va tezislar

MARGANES IONLAR IMPLANTATSIYA QILINGAN KREMNIY MONOKRISTALLARI SIRT MORFOLOGIYASINI ATOM KUCH MIKROSKOPI YORDAMIDA TADQIQ QILISH

Atom kuchi mikroskopi  Atom-kuch mikroskopi ( AKM – atom kuch mikroskopi) - nanometr va undan yuqori o'lchamdagi sirt relyefini aniqlashga qodir yuqori aniqlikdagi skanerlash zondli mikroskopdir. Skanerli tunnel mikroskopidan farqli o'laroq atom kuch mikroskopi o'tkazuvchan va o'tkazmaydigan sirtlarni tekshirishi mumkin. 1 - lazer 2 – kantilever ( mikrozond ) 3 - namuna 4 – to’rt bo’limli fotodiod 5 – quvursimon piezodvigatel 6 – teskari aloqa bloki 7 - piezomodultator

Hozirgi kunda SamDU Muhandislik fizikasi institute laboratoriyasida foydalanilayotgan AKM ning tashqi ko’rinishi

Tajriba natijalari va ularning tahlili  Ion implantatsiya qilinmagan Si sirtining holati tasvirlari 3D tasvir 2D tasvir

3D tasvir 2D tasvir