logo
  1. Bosh sahifa
  2. Diplom ishlar
  3. Umumiy
  4. MARGANES IONLAR IMPLANTATSIYA QILINGAN KREMNIY MONOKRISTALLARI SIRT MORFOLOGIYASINI ATOM KUCH MIKROSKOPI YORDAMIDA TADQIQ QILISH

MARGANES IONLAR IMPLANTATSIYA QILINGAN KREMNIY MONOKRISTALLARI SIRT MORFOLOGIYASINI ATOM KUCH MIKROSKOPI YORDAMIDA TADQIQ QILISH

Yuklangan vaqt:

20.11.2024

Ko'chirishlar soni:

0

Hajmi:

4599.3017578125 KB
Ko'chirib olish
MARGANES IONLAR IMPLANTATSIYA QILINGAN KREMNIY MONOKRISTALLARI SIRT MORFOLOGIYASINI ATOM KUCH MIKROSKOPI YORDAMIDA TADQIQ QILISH Atom kuchi mikroskopi  Atom-kuch mikroskopi ( AKM – atom kuch mikroskopi) - nanometr va undan yuqori o'lchamdagi sirt relyefini aniqlashga qodir yuqori aniqlikdagi skanerlash zondli mikroskopdir. Skanerli tunnel mikroskopidan farqli o'laroq atom kuch mikroskopi o'tkazuvchan va o'tkazmaydigan sirtlarni tekshirishi mumkin. 1 - lazer 2 – kantilever ( mikrozond ) 3 - namuna 4 – to’rt bo’limli fotodiod 5 – quvursimon piezodvigatel 6 – teskari aloqa bloki 7 - piezomodultator Hozirgi kunda SamDU Muhandislik fizikasi institute laboratoriyasida foydalanilayotgan AKM ning tashqi ko’rinishi Tajriba natijalari va ularning tahlili  Ion implantatsiya qilinmagan Si sirtining holati tasvirlari 3D tasvir 2D tasvir 3D tasvir 2D tasvir 40 keV energiyali Mn ionlari bilan implantatsiya qilingan Si monokristall sirtining AKM yordamida olingan tasvirlari. Tok zichligi 8μA/sm 2 , doza 800μC/sm 2 . 3D tasvir 2D tasvir 3D tasvir 2D tasvir Xulosa  Shunday qilib ion implantatsiya usulining boshqa usullarga nisbatan afzalligi biror namunaga boshqa bir begona modda ionlarini istalgan miqdorda kirgazish mumkin ekan. Mn ion implantatsiyasidan keyin Si monokristalning sirt tuzilishlari va elektr o’tkazuvchanlik xossalari o’zgarar ekan. Implantatsiya jarayonida Si monokrastallining sirt xossalari ko’p jihatdan ionlar energiyasiga bog’liq ekan.  Tasvirlarni solishtiradigan bo‘lsak, implantatsiya qilingan kremniy plastinkasida donadorlik oshgan, buni Mn ioni bilan implantatsiya qilish jarayonida Mn ionlarining bir jinsli joylashmagani bilan izohlash mumkin. Ammo sirt g‘adur-budurligini AKM yordamida olingan ma’lumotlarga tayanib tahlil qilish mumkin. Kremniy taglikda dastlab o‘rtacha g’adur budurlik 1.5 nm atrofida bo‘lgan ammo Mn ioni implantatsiya qilingandan so‘ng bu qiymat 26.4 nm ga teng bo‘lmoqda, bu bilan Mn ioni oqimi bilan implantatsiya qilingan sirtning g‘adur-budurligi taglikka nisbatan ancha yuqori bo‘lganini aytish mumkin. O‘rtacha kvadratik g‘adur- budurlikning qiymatlarini solishtirib aytish mumkinki kremniy taglik sirtida g‘adur-budurlik Mn ionlarining kremniy taglikka bir jinsli bo‘lmaganidan hosil bo‘lgan ya’ni sirt donador teksturaga ega bo‘lgan. FOYDALANILGAN ADABIYOTLAR RO’YXATI  1. Baxadirxanov M.K., Isamov S.B., Zikrillaev N.F., Arziqulov E.U. Ko'p zaryadli marganets klasterlari bilan kremniydagi foto o'tkazuvchanlikni infraqizil o'chirish // Yuzaki muhandislik va amaliy elektrokimyo, 2013 yil, jild. 49, №. 4, B. 308–311. [№11, Springer, IF=0,289]  2.Arziqulov E.U, Ro’zimurodovJ.T. Kvant nuqtali kuchli kompensirlangan kremniy na’munalari Volt-amper va lyuks-amper tavsifnomalari// SamDU axborotnomasi. 2017. №5, С . 87–92. [01.00.00 №2]  3.Quvandikov O.K., Arziqulov E.U., Ro zimurodov J.T. Marganets bilan implantatsiya qilingan kremniy ionining ferromagnitligi// ʻ DAN AN O zbekiston. № 5, 2012 yil, 28–31-betlar. [01.00.00 №7] ʻ  4.Quvandikov O. K., Arzikulov E. U., Kovalyov A. I., Tetelbaum D. I. Yuqori aniqlikdagi rentgen-fotoelektron spektroskopiyasi va fosfor-implantatsiya qilingan kremniy va silikon dikosidli dioksid va dikonik dioksid kvantlarining elektron tuzilishining xarakterli elektron-energiya yo'qotish spektroskopiyasi. Texnologiya va elektronika. 2007, jild. 52. №. 9. B. 1054–1057. [№11, Springer, IF=0,446]  5.Quvandikov O.K., Arziqulov E.U., Ro zimurodov J.T. Marganets bilan implantatsiya qilingan kremniy ionining ferromagnitligi.// ʻ Konferensiya materiallari V Baykal xalqaro konferensiyasi “Magnit materiallari. Yangi texnologiyalar” 2012 yil 21–25 sentyabr, 345-346-betlar.  6.Chu W.H., Liu C.P. FIB bilan Ga implantatsiyasi orqali bitta p-tipli ZnO nanosimlarining elektr xususiyatlari // Proceedings IEEE 4th International Nanoelektronika Konferentsiyasi (INEC). 2011. 21–24 iyun. B. 1–2.  7. Cheng Y., Liang Y., Lei M., Hark S.K., Vang N. ZnO nanosimlarining tuzilishi va optik xususiyatlarini Ga ion nurlari bilan o'zgartirish.// MRS Proceedings, 2009. Jilm 1201. P. 235-237 . Mavzuga doir ilmiy maqolalar va tezislar

MARGANES IONLAR IMPLANTATSIYA QILINGAN KREMNIY MONOKRISTALLARI SIRT MORFOLOGIYASINI ATOM KUCH MIKROSKOPI YORDAMIDA TADQIQ QILISH

Atom kuchi mikroskopi  Atom-kuch mikroskopi ( AKM – atom kuch mikroskopi) - nanometr va undan yuqori o'lchamdagi sirt relyefini aniqlashga qodir yuqori aniqlikdagi skanerlash zondli mikroskopdir. Skanerli tunnel mikroskopidan farqli o'laroq atom kuch mikroskopi o'tkazuvchan va o'tkazmaydigan sirtlarni tekshirishi mumkin. 1 - lazer 2 – kantilever ( mikrozond ) 3 - namuna 4 – to’rt bo’limli fotodiod 5 – quvursimon piezodvigatel 6 – teskari aloqa bloki 7 - piezomodultator

Hozirgi kunda SamDU Muhandislik fizikasi institute laboratoriyasida foydalanilayotgan AKM ning tashqi ko’rinishi

Tajriba natijalari va ularning tahlili  Ion implantatsiya qilinmagan Si sirtining holati tasvirlari 3D tasvir 2D tasvir

3D tasvir 2D tasvir

O'xshashlar

ZnO nanoplyonkasining fizik-kimyoviy xarakteristikalarini atom kuch mikroskop usulida o‘rganish
TEKIS ALGEBRAIK EGRI CHIZIQLARNI ULARNING KO’PYOQLIKLARI YORDAMIDA TADQIQ QILISH
ZOL-GEL USULIDA OLINGAN KVARS SHISHALARDA NURLANISH TA’SIRIDA HOSIL BO’LADIGAN RADIATSION MARKAZLARNI O’RGANISH
Yumshoq va qattiq ferromagnitlar uchun magnit gisterezisi
MASHINALI O’QITISHDA GRADIENTLI TUSHISH ALGORITMINI CHIZIQLI REGRESSIYA YORDAMIDA TADQIQ QILISH