1 O‘ZBEKISTON RESPUBLIKASI OLIY VA O‘RTA MAXSUS TA’LIM VAZIRLIGI SHAROF RASHIDOV NOMIDAGI SAMARQAND DAVLAT UNIVERSITETI Qo`lyozma huquqida UDK: 54 :662.763 ERD A NOV YULDOSH TOSHTEMIROVICHNING GAZ SEZGIR MATERIALLAR OLISH V A ULAR ASOSIDA METANNI ANIQLOVCHI SENSOR ISHLAB CHIQISH 5A140501 -Noorganik kimyo Magistr akademik darajasini olish uchun yozilgan dissertasiya Ish ko’rib chiqildi va ximoyaga qo’yildi Ilmiy r ahbar: k.f. d., dots. I.E.Abdurahmonov N oorganik kimyo va materialshunoslik kafedrasi mudiri : “____ ” ___________ 20 22 yil k.f. d., dots. I.E.Abdurahmonov SAMARQAND – 20 22

2 ANNOTATSIYA Gaz sezgir materiallar olish v a ular asosida metanni aniqlovchi sensor ishlab chiqish mavzusidagi magi strlik dissertatsiya annotatsiyasi Chiqindi gazlari bilan atmosferaga katta miqdordagi zaharli va portlovchan bi rikmalar tashlanadi. Gaz aralashmalari tarkibidagi doimiy analitik nazoratni talab etuvchi portlovchan komponentlardan biri metan. Bu birikmaning mikrokonsentratsiyasini nazorat qilish muammosi uni aniqlashning yuqori sezgir, selektiv, ekspress, avtomatik uslub va asboblarini yaratish bilan chambarchas bog’liq. Mavzuning dolzarbligi atmosfera tarkibini ekologik monitoringiga qo’yiladigan talabning oshishi hamda gaz sezgir sensorlarni qo’llanilish sohasi ko’plab texnologik va ekologik sohalarni qamrab olga nligi bilan belgilanadi. ANNOTATION Abstract of the master's dissertation on the production of gas -sensitive materials and the development of sensors for the detection of methane on their basis Exhaust gases release large amounts of toxic and explosive compounds into the atmosphere. Methane is one of the explosive components in gas mixtures that requires constant analytical monitoring. The problem of controlling the microconcentration of this com pound is closely related to the development of highly sensitive, selective, express, automatic methods and tools for its detection. The relevance of the topic is determined by the growing demand for environmental monitoring of atmospheric composition and t he fact that the field of application of gas -sensitive sensors covers many technological and environmental areas.

3 MUNDARIJA KIRISH ........... ................................................................................................ 5 Bob 1. GAZ ARALA SH MALAR I TARKIBIDAN METAN NI ANIQLA SHNING ZAMONAVIY USULLARI VA ASBOBLARI (adabiyot lar sharhi ............................................... ......................................... .. 11 1.1.Y onuvchan gazlarning aniqlashni optik usullari va asboblari.......... ......... 12 1.2. G az lar analizining t ermo kondu ktometri k usullar i va asbob lari … … … … 14 1.3. G az lar aralashmasi tarkibini nazorat qilishning e le ktro kimyoviy usullari va analizatorlari............................................. ...................................... 15 1.4. Gaz aralashmalarini nazorat qilishning termokatalitik usuli..... ............... 16 1.5. Metanni (tabiiy gazni) aniqlovchi yarimo‘tkazgichli gaz s ensorlari........ 22 1.5.1. Y onuvchan gazlarning metall oksidlari asosidagi yarimo‘tkazgichli sensorlari.......................................................................... ................................ 23 1.6. Birinchi bob bo‘yicha xulosalar 27 2-Bob. METANNI ANIQLOVCHI YARIMO‘TKAZGICHLI SENSORLAR ISHLAB CHIQISH ............................................ .................. 28 2.1.Tabiiy gaz va metanni aniqlovchi yarimo‘tkazgichli sensorlar uchun metall oksidlari asosida gaz sezgir nanokompozit plyonkalar sintezi 28 2.2. Metanni aniqlovchi yarimo ‘tkazgichli sensorni ishlab chiqish ........... ..... 37 2.3. Y arimo‘tkazgichli metanni aniqlovchi sensorining metrologik ko‘rsatgichlarlariga turli omillar ta’sirini o‘rganish.......................... .............. 39 2.3.1. Y arimo‘tkaz gichli metan ni aniqlovchi sensor ning sezgirligiga haroratn ing ta’siri ..................................................................................... ........ 39 3-Bob. METANNI ANIQLOVCHI YARIMO‘TKAZGICHLI SENSORLAR METROLOGIK TAVSIFLARINI O‘RGANISH ……… . 42 3.1 . Metan va tabiiy gazni aniqlashda yarimo‘tkazgichl i sensor signalini o‘zgarish dinamikasini tekshirish............................................ 42 3.2 . Y arimo‘tkazgich li sensorning metanga nisbatan sezuvchanligi ....... 44 3.3 . Metanni aniqlovchi yarimo‘tkazgichli sensor signalining konsentratsiyag a bog‘liqligi.......................................................................... .. 46

4 3.4 . Y arimo‘tkazgichli sensorni ishlash resursi va signal ini ng barqarorligini tekshirish ........................................................................... 48 3.5 . Metanni aniql ovchi yarimo‘tkazgich li sensorning selektiv ligi ni aniqlash........................................................................................................... . 50 Uchunchi bob bo‘yicha xulosalar.............................. ................................. ..... 52 XULOSA........................................................................................................ . 53 Foydalanilgan adabiyotlar .......................................................................... ...... 54 Ilova……………………………………………………………………… … . 68

5 KIRISH Dissertatsiya mavzusining dolzarbligi va zarurati . Jaxonda , ilmiy - texnik taraqqiyot natijasida , sanoat jadal rivojlanib borayotgan bir davrda , ishlab chi qarish va turar -joy binolarini port lash va yong‘in xavfsizligini ta’minlovchi kimyoviy sensorlar va signalizatorlar yaratish muhim nazariy va amaliy ahamiyatga ega . Tur ar joy va ishlab chiqarish korxonalari binolarida kuzatiladigan eng xavfli baxtsiz hodisalardan biri metan ning portlashidir . Odatda metanning eng past port lovchan kon sentratsiyasi (PPK ) 5% ni , eng yuqori portlovchan konsentratsiyasi (YUPCH ) 16% ni tashkil etadi . Respublikada yiliga 64 milliard kubometr tabiiy gaz qazib olinadi , uning asosiy tarkibiy qismini metan tashkil etad i. Respublikamizda gaz qazib olish va uning iste’mol qilish hajmining oshishi bilan sanoat va turar -joy ob’ektlarining atmosfera havosiga metanning sizib chiqishi va to‘planishini aniqlovchi ekspress usullar , ishonchli sensorlar va signalizatorlarni ishlab chiqish muhim ahamiyat kasb etadi . Jaxonda tabiiy gazning sizib chiqishi va to‘planishini ishonchli va tezkor nazoratini ta’minlovchi arzon kimyoviy sensorlarni yaratishga alohida e’tibor qaratilmoqda . Sanoati rivojlangan mamlakatlarda gaz sensorlarining ishlab chiqarish sohasidagi tadqiqotlarning tahlili termokatalitik va yarimo‘tkazgichli sensorlardan foydalanish portlash xavfining oldini olishda eng ishonchli ekanligini ko‘rsatdi . Iqtisodiyotning turli sohalarini asosan transport , energetika , neft va ga z sanoati singari sohalarini rivojlantirish bilan global miqyosda sanoat va turar -joy ob’ektlarining portlashga nisbata n xavfsizligini ta’minlashga bo‘lgan talablar tobora kuchayib bormoqda . Sh u sababli yopiq ekologik tizimlarning atmosfera havosi tarkibin i ishonchli nazorat qiluvchi tezkor , sezgir va selektiv sensorlarni ishlab chiqishga yo‘naltirilgan tadqiqotlar bajarilmoqda . Respublikada import o‘rnini bosuvchi , gazlar nazoratida qo‘llaniladigan gaz analizatorlar yaratish sohasida ma’lum ilmiy amaliy yutuqlarga erishilgan . O‘zbekiston Respublikasini yanada rivojlantirish bo‘yicha harakatlar strategiyasida «mahalliy xom ashyoni chuqur qayta ishlashga asoslangan yuqori qo‘shimcha qiymatli mahsulot va texnologiyalarning yangi turlarini ishlab chiqarish , shu